6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

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6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內(nèi)徑為6″的真空管式爐，可以在不同氣氛下，在Z大5″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。產(chǎn)品型號(hào) 6″單溫區(qū)C

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更新時(shí)間：2025-08-08

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6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內(nèi)徑為6″的真空管式爐，可以在不同氣氛下，在Z大5″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。

產(chǎn)品型號(hào)	6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S
主要特點(diǎn)	1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用雙硅膠密封圈進(jìn)行密封。 3、設(shè)有雙K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。 4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1、電源：AC 220V 8KW 2、石英管：內(nèi)徑Φ152mm，長(zhǎng)1016mm 3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域：600mm 5、恒溫區(qū)域：200mm 6、工作溫度：zui高1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、zui大升降溫速率：10℃/min 8、熱電偶：雙K型 9、控溫精度：±1℃ 10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵） 11、鎧裝熱偶檢測(cè)口：1個(gè) 12、真空接口：KF40
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	石英管	1根
	2	氧化鋁管堵	2個(gè)
可選配件	1、軟件接口模塊和PC機(jī) 2、石英管 3、石英管堵 4、K型熱電偶（Φ6.35mm×915mm，用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)） 5、真空泵