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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品簡(jiǎn)介VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了優(yōu)良
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂膜制備。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī),采用了優(yōu)良的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。設(shè)備腔體采用聚丙烯材質(zhì),具有耐熱性、電絕緣性、和良好的高耐磨加工性能等特點(diǎn)。本機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空吸盤(pán)及氣路管線(xiàn)與外部真空泵相連,能很好的將樣件牢固的吸附在載樣盤(pán)上,此方式操作簡(jiǎn)便、樣件取放自如,吸盤(pán)真空度可達(dá)到﹣0.08MPa。旋轉(zhuǎn)主軸采用高速直流無(wú)刷電機(jī),噪音低、振動(dòng)小、運(yùn)行更加平穩(wěn)、可靠性高、適應(yīng)性強(qiáng)、維修與保養(yǎng)簡(jiǎn)單,電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。VTC-100PAH真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡(jiǎn)單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專(zhuān)院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過(guò)程。

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